【基本仕様】
| 評価・実験向け | パイロットライン向け ・実験向け |
生産ライン向け | ||
| 形式 | 20タイプ | 60タイプ | 120タイプ | |
| 循環流量 | 20Nm³/h | 60Nm³/h | 120Nm³/h | |
| 触媒塔 | 方式 | 銅吸着方式 | 銅吸着方式 | 水生成方式 |
| 塔数 | 2塔 | 2塔 | 1塔 | |
| 連続運転 | 可 | 可 | 可 | |
| 到達酸素濃度 | 1ppm以下 | |||
| 到達露点 | -76℃以下 | |||
| BOX容量（目安） | 1.0m³ | 3.0m³ | 6.0m³ | |
【筐体・用力仕様】
| 型名 | 20タイプ | 60タイプ | 120タイプ | |
| 寸法 | W600 × D900 × H1900 | W850 × D1100 × H1935 | W1650 × D1050 × H2350 | |
| 重量 | 約400kg | 約600kg | 約900kg | |
| 必 要 用 力 |
窒素 ※1 | 0.2〜0.4MPaG | ||
| max30L/min | max50L/min | max60L/min | ||
| 圧縮空気 | 0.5〜0.7MPaG（パイロット用途） | |||
| 水素（3〜5%） N2ベース ※1 |
0.2〜0.4MPaG（再生用途） | 水素発生器内蔵 | ||
| max30L/min | max50L/min | |||
| 冷却水 | 0.2〜0.4MPaG、20℃±5℃ | |||
| 10L/min以上 | 20L/min以上 | |||
| 排気 | 100L/min以上（水素排気含む） | |||
| 電源 | 3Φ200V 20A | 3Φ200V 30A | 3Φ200V 75A 1Φ200V 15A |
|
| 露点計 ※2 | 静電容量式 | 静電容量式 | 静電容量式 | |
| 酸素計 ※2 | ジルコニア式 | ジルコニア式 | ジルコニア式 | |
※1 記載流量は、max流量で常時必要ではありません。
※2 オプションにて選択頂けます。
Copyright(c) 2009 FuseTechnoNet All Rights Reserved.