製品情報

ガス・液供給系

ガスコントロールユニット集積タイプ

ガスコントロールユニット集積タイプ写真

集積タイプのガスコントロールユニット

10L-47L 3本立てシリンダキャビネット

10L-47L 3本立てシリンダキャビネット写真

半導体工場向けボンベキャビネット

10L-47L フルオートシリンダキャビネット

10L-47L フルオートシリンダキャビネット写真

オートパージ機能などを搭載した
ボンベキャビネット

液晶カセット洗浄用温水供給ユニット

液晶カセット洗浄用温水供給ユニット写真

純水を昇温し、循環供給するユニット

液体ソースガス供給装置

液体ソースガス供給装置写真

ガスコントロール部を恒温槽化したユニット

装置用ガスコントロールキャビネット

装置用ガスコントロールキャビネット写真

太陽電池製造装置用に制御部まで含んだ
ガス供給ユニット

47L 6本立てシリンダーキャビネット

47L 6本立てシリンダーキャビネット写真
47L 6本立てシリンダーキャビネット写真

半導体向けボンベキャビネット